真空系统重通过 Q = P × S 公式解释各种问题，气载 (Q)、压力 (P) 和抽速(S) 之间的关系决定了真空系统的表现。
一 如何获得更低的压力 (P)?
在真空系统中实现更低的压力可能是一大难题。在理解压力 (P) 取决于系统气载 (Q) 和抽速 (S) 之间的平衡后，实现更低的压力 (P) 会变得更简单一些。
这些基本概念，压力 (P)、抽速 (S)和气载 (Q)的详细介绍如下。
另一个重要概念是流导 (C)。流导 (C) 表示在特定压力下，孔口或管路通过气体的能力。其描述了真空管路和接头对抽速(S) 的影响，以及对极限真空压力(P) 的影响。
二 了解压力 (P)
压力 (P) 表示气体分子撞击表面时产生的力量大小。
要降低压力 (P)：
1) 提高抽速 (S)和/或
2) 降低气载 (Q)
三 了解抽速 (S)
抽速 (S) 是指泵从真空室中抽出气体的速率。
要降低压力 (P)：
1) 提高抽速 (S)和/或
2) 增加管路内径/减小管路长度
四 了解气载 (Q)
气载 (Q) 是真空系统中所有气体来源的总和。来源包括：
·真空室内的初始气体·工艺气体·放气·扩散·真实泄漏·虚漏·返流·渗透
六、流导 (C) 如何影响压力 (P)？
流导 (C) 表示在特定压力下孔口或管路通过气体的能力。 为真空系统选择具有出色流导 (C) 的硬件（即不会限制泵和真空室之间气体流动的硬件），以尽可能提高泵的抽速 (S)，这一点非常重要。
使泵抽气口法兰的直径与管路直径匹配 尽量缩短所用管路的长度 使用直型管路，尽量避免使用带有许多弯折的管路 流导 (C) 对抽速 (S) 的影响： 流导 (C) 通常会降低真空泵的抽速 (S) 具有很低流导 (C) 的组件将决定系统可达到的最大抽速 (S)
流导 (C) 会限制抽速 (S)，进而影响极限真空压力。为尽量降低系统压力，需要尽可能减少由于低流导 (C) 导致的抽速 (S) 下降。
为了获得更低的压力 (P)：
确认泵与真空室之间的硬件未限制流导：管路的流导 (C) 务必大于* 泵的抽速 (S) 如果泵与真空室之间的硬件未限制流导 (C)*，选择更大的泵。提高抽速 (S) 可以在更短时间内达到更低的压力 (P)。
注：系统流导 (C) 较差时，使用更大型的泵无法提高性能（极限真空压力或抽真空时间）。
需要通过计算来确定流导 (C) 是否限制了抽速 (S)。例如，假如抽速 (S) 等于流导 (C)，则有效抽速 (Seff) 会降低 50%。
考虑到流导，基本公式变为：Q = P x Seff
流导 (C) —（气载 (Q) 固定）
随着流导 (C) 变大，有效抽速 (Seff) 增加，压力 (P) 降低 随着流导 (C) 变小，有效抽速 (Seff) 减小，压力 (P) 升高
七、如何提高抽速 (S)